MgF2 substrat
Beskrivelse
MgF2 bruges som linse, prisme og vindue til bølgelængder fra 110nm til 7,5μm.Det er et meget velegnet materiale som vindue til ArF Excimer Laser, på grund af dets gode transmission ved 193nm.Det er også effektivt som en optisk polarisering i det ultraviolette område.
Ejendomme
| Massefylde (g/cm3） | 3.18 |
| Smeltepunkt (℃) | 1255 |
| Varmeledningsevne | 0,3 Wm-1K-1 ved 300K |
| Varmeudvidelse | 13,7 x 10-6 /℃ parallel c-akse 8,9 x 10-6 /℃ vinkelret c-akse |
| Knoop hårdhed | 415 med 100 g indrykning (kg/mm2) |
| Specifik varmekapacitet | 1003 J/(kg.k) |
| Dielektrisk konstant | 1,87 ved 1MHz parallel c-akse 1,45 ved 1MHz vinkelret c-akse |
| Ungdomsmodul (E) | 138,5 GPa |
| Forskydningsmodul (G) | 54,66 GPa |
| Bulkmodul (K) | 101,32 GPa |
| Elastisk koefficient | C11=164;C12=53;C44=33,7 C13=63;C66=96 |
| Tilsyneladende elastisk grænse | 49,6 MPa (7200 psi) |
| Poisson-forhold | 0,276 |
MgF2 Substrat Definition
MgF2-substrat refererer til et substrat lavet af magnesiumfluorid (MgF2) krystalmateriale.MgF2 er en uorganisk forbindelse sammensat af magnesium (Mg) og fluor (F) elementer.
MgF2-substrater har flere bemærkelsesværdige egenskaber, der gør dem populære i en række forskellige anvendelser, især inden for optik og tyndfilmaflejring:
1. Høj gennemsigtighed: MgF2 har fremragende gennemsigtighed i de ultraviolette (UV), synlige og infrarøde (IR) områder af det elektromagnetiske spektrum.Den har et bredt transmissionsområde fra ultraviolet ved omkring 115 nm til infrarødt ved omkring 7.500 nm.
2. Lavt brydningsindeks: MgF2 har et relativt lavt brydningsindeks, hvilket gør det til et ideelt materiale til AR belægninger og optik, da det minimerer uønskede refleksioner og forbedrer lystransmissionen.
3. Lav absorption: MgF2 udviser lav absorption i de ultraviolette og synlige spektrale områder.Denne egenskab gør den nyttig i applikationer, der kræver høj optisk klarhed, såsom linser, prismer og vinduer til ultraviolette eller synlige stråler.
4. Kemisk stabilitet: MgF2 er kemisk stabil, modstandsdygtig over for en lang række kemikalier og bevarer sine optiske og fysiske egenskaber under en lang række miljøforhold.
5. Termisk stabilitet: MgF2 har et højt smeltepunkt og kan modstå høje arbejdstemperaturer uden væsentlig nedbrydning.
MgF2-substrater bruges almindeligvis i optiske belægninger, tyndfilmaflejringsprocesser og optiske vinduer eller linser i forskellige enheder og systemer.De kan også tjene som bufferlag eller skabeloner til vækst af andre tynde film, såsom halvledermaterialer eller metalliske belægninger.
Disse substrater fremstilles typisk ved hjælp af teknikker såsom dampaflejring eller fysiske damptransportmetoder, hvor MgF2-materiale afsættes på et passende substratmateriale eller dyrkes som en enkelt krystal.Afhængigt af applikationskravene kan substrater være i form af wafers, plader eller brugerdefinerede former.
